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    質量檢測

    14種潔凈室質量檢定項目及方法

    潔凈度測試


    檢測點:每9M2測1點或依NEBB建議點數面積×64 /(10M)0.5 。  

    檢測高度:Probe取樣口高度110cm,詳左下Dwg-1 。    

    檢測儀器:Particle Counter,需有固定支撐架,不得用手持。       

    檢測次數每ㄧ檢測點至少3次,1次1分鐘。

    驗收標準:As Built驗收標準為ISO 14644/Fed209E。

    ※Owner特殊要求:As Built以1/10濃度標準驗收。






    FFU過濾器風速測試


    檢測點:詳左下圖 Dwg-1、Dwg.2,每個 Ceiling Filter測3點取其平均值。       

    檢測儀器需有固定支撐架,不得用手持。       

    每ㄧ檢測點至少維持10秒。

    驗收標準:每ㄧ0.8VD≦VPn ≦ 1.2VD 即±20%內。0.9VD≦VAVG ≦ 1.1VD即±10%內。






    FFU過濾器泄漏測試


    測試前先將Return Air之Pre-Filter除去,并用Aerosol Generator產生100,000 pcs/ft3@0.2μm之Particles。       

    于無塵室風速檢測完成符合規范,溫濕度、正壓在穩定條件下檢測。       

    檢測點距離及方向詳左下圖 Dwg-1、Dwg.2 。

    移動之速度小于5cm/sec ,每片4’ x 4’之Filter約5分鐘以上, 4’ x 2’之Filter約3分鐘以上。

    若不易檢測可四周以抗靜電PVC簾圍住,避免受周遭影響。

    驗收標準:于同ㄧ點內無連續泄漏量(0.1μm)

    ※Owner特殊要求:檢測未確實。提供:2 x N2(Free)






    潔凈室靜壓測試


    檢測時機:必須完成Air flow velocity(風速)與氣密測試。

    檢測點:每ROOM對應測試ZONE(或室外)至少取1點測量。

    檢測儀器: 0~5mmAq / ±0.1刻度之微型壓差計或數字顯示壓差計。

    每ㄧ檢測點至少維持10秒。

    驗收標準:較設計規范值高0~20%。






    單向流測試


    檢測點:每9M2測1點。  

    檢測儀器:以超音波3D風速計Ultrasonic Anemometer Probe或以固定架持entrance plane取filter下0.5m處,L取100CM之鉛垂與絲線,詳左下Dwg-1。

    每ㄧ檢測點至少靜置1分鐘。

    驗收標準:θ≦14






    照度測試


    檢測點:每20M2測1點。  

    檢測高度:Probe高度110cm,詳右下Dwg-1 。

    檢測儀器:Illumination Meter照度計(符合JIS1609)需有固定支撐架,不得用手持。       

    檢測時機:確定燈光系統已運轉100Hr.后,檢測須于所有燈光開120Hr.后方能施測。

    驗收標準:符合規范要求。







    噪音測試


    檢測點:每100M2測1點。  

    檢測高度:Probe高度120cm,離墻至少2M,詳下圖Dwg-1 。

    檢測儀器:Sound Level Meter (Include Octave Band Analyzer),需有固定支撐架,不得用手持。       

    檢測時間:確定廠務設備已運轉至少24Hr. 后方能施測。

    檢測時間:至少5分鐘,取無工程進行時檢測數據,避免干擾。

    驗收標準:≦NC60。






    溫/濕度測試


    檢測點:每9M2測1點。  

    檢測高度:Probe取樣高度110cm,詳左下Dwg-1 。    

    檢測儀器:Temp./RH% Meter (精確度:±1℃/ ± 1%) ,需有固定支撐架,不得用手持。       

    檢測時間:每ㄧ檢測點至少連續1Hr.,且至少每6分鐘記錄1筆資料。

    檢測前乙方須提供詳細檢測方法供甲方確認之(介于As-Built與Operation兩階段之冷卻負荷狀況差異應列入考慮)

    驗收標準:符合規范要求。

    ※Owner特殊要求:As-Built時,檢測48Hr.之溫濕度連續監視數據






    微震測試


    檢測點:每個Wafer Slab至少測2點。  

    檢測高度:Slab地板面上。    

    檢測儀器:可檢測速度及位移之低頻可變波段震動儀器(0~200HZ)。       

    檢測時機:二次,ㄧ次于無塵室施工前,另ㄧ次于As-Built階段。

    驗收標準: As-Built階段之最終檢測值不得大于無塵室施工前之震動值。

    運轉設備震動:依三階段Check List震動標準驗收。

    ※微震動由業主委托之顧問檢測及提出建議改善報告。






    室內材料導電率測試


    檢測材料:高架地板、無塵室隔間。  

    檢測點:檢測建材與地線之測量值,檢測點數1點/100M2;每ROOM 至少2點。

    檢測方式:阻值 ≦ 106MΩ→DC100V檢測電壓。

    檢測方式:阻值>106MΩ→DC500V檢測電壓。

    檢測儀器:高阻計Resistance Meter,檢測時C/R溫濕度已達穩定。       

    驗收標準:高架地板→104~106MΩ、無塵室隔間→106~108MΩ 、建材與地線≦100Ω。






    無塵車間恢復速度測試



    檢測點:每150M2測1點。  

    檢測高度: 同Cleanliness,Probe取樣口高度110cm。

    檢測儀器:Aerosol Generator / Particle Counter。       

    檢測方式:以Aerosol Generator產生100倍無塵室等級規格之粒子數(或無塵室FFU停機待濃度上升),然后以Particle Counter每分鐘量測一次,直至無塵室等級恢復設計值,記錄所需之時間。

    驗收標準:需于10分中內恢復無塵室等級。






    防靜電測試



    檢測點:由Owner指定位置。  

    檢測高度:高度110cm (Ionizer Performance) ,物體表面靜電部份約離表面1英吋。

    檢測儀器:20pf electro static discharge monitor w/150 x 150mm panel需符合EOS/EOD標準S3.1-1991年版(Ionizer Performance),環境物體表面靜電測試采靜電場測量器Electrostatic Field meter。 

    驗收標準:自±1000V至±100V放電時間為20~60秒。(Ionizer Performance),物體表面標準≦±35V。






    風機測試


    1、準備事項:  

    風機性能曲線圖。

    風管系統流程內之風門安裝位置及開關狀況檢查。       

    風管測試孔安裝位置確認 。

    2、風機測試:  

    風機吸入與吐出端全壓測試(如下Dwg-1)。

    風機單機總風量測試。       

    風機多臺并聯運轉,并聯后運轉曲線及運轉點量測 。

    ※變頻風機需量測卸除變頻數值。

    3、矩形風管測試孔位置及數量(如下Dwg-1、下Table-1) :





    4、圓形風管測試孔位置及數量(如下Dwg-3): 

    5、盤管/濾網測試點位置及數量(如下Dwg-4):

    6、風管格柵風口測試點位置及數量(如下Table-2):



    7、風速測試注意事項:





    8、風量平衡調整測試:






    過濾器的CFD壓力分析




    測試工具

    7種潔凈室品質測試工具

    品質管理

    9道品控項目,7大管理措施

    材料品管:于設備材料采購時,即應依制造批次提出材質證明及檢驗報告。


    工廠品管:設備制作過程中,至制作工廠進行現場檢驗,如:組件品牌、組裝流程、作業質量、環境等。


    運輸品管:設備管材在運送之前,應做好包裝及保護措施并于運送過程做好裝卸及堆棧安全措施。


    現場保管:設備抵達現場應規劃堆置貯存區,并做好相關天氣狀況及潔凈度等防護措施。


    材料檢驗:現場根據規范要求及供應商提供的材料檢驗進廠材料。


    施工品管:安裝過程中,需要時填寫中間檢查表,隨時掌控相關組裝接合質量,如螺栓接合、焊接等。


    設備檢驗:組裝完成的設備(如配電柜)須就外觀、連接點及其他相關技術需求進行檢驗。


    儀器校正:安裝完成的儀器須進行精確度校正,并做好相關銜接要求。


    作業程序品管:施工過程中須就相關設備、儀器及管線進行程序安排并掌控相關進度。



    · 靜態管理:依業主規范實施人員、車輛、證件管理


    · 動態管理:施工現場巡檢稽核查驗并予以紀錄處理


    · 安全管理:協議組織,施工、吊裝、動火、特殊作業


    · 環境衛生:6S稽核、環境衛生管理


    · 警勤管理:證件管制辦理、進出廠管制


    · 教育倡導:工具箱會議、教育訓練、倡導管制


    · 人員管理:統一制施工背心、安全帽規范


    驗收標準

    13項無塵車間驗收標準



    √:需保證

    △:測試數據僅供參考

    X :不須保證

    微震(Vibration)測試在無塵室建造前及建造完成后而制程設備尚未移入之前進行(As-Built)機為無塵室建造前及建造完成后而制程設備尚未移入前(As-Built)